中国陶瓷工业

2004, (05) 49-51

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陶瓷材料在微机电系统中的应用
THE APPLICATION OF CERAMIC MATERIAL IN MEMS

刘文广,张玲,刘莹

摘要(Abstract):

在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料。本文分析了当前国内外在MEMS研究中 的陶瓷材料的应用现状。着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它 一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用。

关键词(KeyWords): 微机电系统;陶瓷材料;薄膜

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(编号:50275071) 江西省自然科学基金资助项目(编号:0250018)

作者(Author): 刘文广,张玲,刘莹

DOI: 10.13958/j.cnki.ztcg.2004.05.015

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