中国陶瓷工业

2022, v.29(01) 18-25

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硅粉氮化制备氮化硅的机理研究进展
Research Progress on the Mechanism of Preparing Silicon Nitride with Nitriding Silicon Powder

王丽娟;邢鹏飞;庄艳歆;金星;徐宏利;

摘要(Abstract):

氮化硅(Si_3N_4)因具有耐高温、耐磨损、耐腐蚀、抗热震、抗氧化等优良性能,广泛应用于热交换器轴承、高温组件、发动机和燃气轮机等。氮化硅的制备方式有多种,目前工业大规模生产氮化硅最常用的是硅粉直接氮化。氮化硅具有α和β两种晶型,其中:α-Si_3N_4是低温亚稳定相;β-Si_3N_4是高温稳定相。因为α相和β相Si_3N_4以独立的机理形成,它们有各自的形成阶段和动力学定律。所以,此过程中温度、时间、添加剂等变量,会对α相和β相的含量造成不同程度的影响。该文献总结分析了硅粉直接氮化中各种变量对α-Si_3N_4和β-Si_3N_4形成机理的影响,并对其未来的研究方向进行了展望。

关键词(KeyWords): 硅粉直接氮化;氮化温度;Si_3N_4稀释剂;金属催化剂;氧化物添加剂

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(2197080510)

作者(Authors): 王丽娟;邢鹏飞;庄艳歆;金星;徐宏利;

DOI: 10.13958/j.cnki.ztcg.2022.01.004

参考文献(References):

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