中国陶瓷工业

1999, (01) 3-5

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氮化硅薄膜的制备技术
PREPARATION METHODS OF SILICON NITRIDE THIN FIMS

余京松,马青松,葛曼珍,杨辉,江仲华

摘要(Abstract):

氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料,具有优秀的光电性能、钝化性能、稳定性能和机械性能,在微电子、光电和材料表面改性等领域有着广阔的应用前景。本文综述了几种制备氮化硅薄膜的方法。

关键词(KeyWords): 氮化硅,薄膜,制备

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金,浙江省自然科学基金

作者(Author): 余京松,马青松,葛曼珍,杨辉,江仲华

参考文献(References):

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